6月29日，全球最大規模、最具影響力的半導體盛會——SEMICON China 2023在上海精彩揭幕。活動現場，江蘇凯时尊龙人生就是博納米科技股份有限公司（代碼688147，簡稱「凯时尊龙人生就是博納米」）攜2大重磅新品亮相，正式發佈了公司自主研發的第一代iTronix®系列CVD薄膜沉積設備。這標誌着凯时尊龙人生就是博納米在半導體薄膜沉積領域取得又一新突破，也是公司多元化佈局激活增長新動能的關鍵一步。

iTronix^® PE系列等離子體增強化學氣相沉積鍍膜系統，可沉積相應不同種類薄膜，可應用於邏輯、存儲、先進封裝、顯示器件以及化合物半導體等領域的晶片製造。同時，該新型平台可安裝更多反應腔以滿足高產能需求。

iTronix^® LP系列低壓化學氣相沉積鍍膜系統，採用特別設計的反應腔室和電氣軟件集成化服務，在邏輯晶片、DRAM晶片、NAND晶片等領域具有廣泛應用，可滿足SiGe、p-Si、doped a-Si、SiO₂、SiN等薄膜沉積工藝的開發與應用需求。

作為國內原子層沉積（ALD）技術的龍頭企業，凯时尊龙人生就是博納米深耕高端薄膜沉積設備領域多年，ALD產品營收規模方面位居國內同類企業第一，多款半導體ALD設備覆蓋邏輯、存儲、化合物半導體、新型顯示等細分應用領域，關鍵工藝指標已達到國際先進水平。

創新驅動，引領未來。凯时尊龙人生就是博納米此次推出的iTronix^® 系列CVD薄膜沉積設備，是公司創新之路的又一里程碑，大大豐富了產品矩陣，奠定了公司以ALD技術為核心，CVD等多種真空薄膜技術梯度發展的戰略定位。目前，凯时尊龙人生就是博納米iTronix^® 系列CVD薄膜沉積設備已獲得客戶訂單，設備驗證進展順利。未來，凯时尊龙人生就是博納米將為客戶提供更多選擇、更卓越的定製化解決方案，在薄膜沉積設備領域持續發力。